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석영

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고순도의 반도체 소재 쿼츠 Quartz(석영) / 반도체 소재, 물성치 Quartz 쿼츠(Quartz)란? 쿼츠(Quartz)의 다른 이름은 실리카(Glass), 유리입니다. 한글로는 석영(石英)이며, 수정이라고도 불리웁니다. 육방정계의 결정형을 가지고 망상형 이산화규소(SiO2)(모래의 주성분)로 이루어져 있습니다. (모스 경도 7, 비중 2.65) 쿼츠(Quartz)의 특징 - 낮은 가스함유량 / 매우 고순도(SiO2 99.99%) - 낮은 알칼리성분 / 낮은 전기전도 / 부도체 - 적은 광흡수 / 우수한 도광성 - 우수한 도광성(빛을 머금음) - 높은 내열성(1100ºC) - 내약품성 - 반도체에서는 주로 Dry Etch와 Diffusion공정에 사용 쿼츠(Quartz)파트 주요제품 Focus Ring 플라즈마 형성후 챔버내의 플라즈마가 정확한 위치로 모이게 하는 역할..

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