๋ณธ๋ฌธ ๋ฐ”๋กœ๊ฐ€๊ธฐ

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(5)
์ ‘์ง€์„ ์˜ ์ข…๋ฅ˜ / GV์ „์„ , HIV ์ „์„  / ์ ‘์ง€์„  ์ƒ‰ ์•ˆ๋…•ํ•˜์„ธ์š” ๋ฆฌ๋ฌด์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ค๋Š˜์€ ์ „๊ธฐ ํ˜น์€ ๊ธฐ๊ณ„๋ถ„์•ผ์—์„œ ์ž์ฃผ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฐœ๋…์ธ ์ ‘์ง€ ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์ ‘์ง€์„ ์— ๋Œ€ํ•ด์„œ ๊ฐ„๋ ฅํ•˜๊ฒŒ ์†Œ๊ฐœํ•ด ๋ณด๋ ค๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. โ–ถ์ ‘์ง€๋ž€? ์ ‘์ง€๋ž€ ์™ธ๋ถ€์˜ ์ „๋ ฅ์œผ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ์˜ ์†์‹ค์„ ๋ง‰๊ธฐ ์œ„ํ•œ ์˜ˆ๋ฐฉ ๋ฐฉ๋ฒ•์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฒˆ๊ฐœ(๋‚™๋ขฐ)์™€ ์ •์ „๊ธฐ ๋“ฑ์„ ๋ง‰๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ์˜๋ฏธํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ค๋Š˜๋‚  ์šฐ๋ฆฌ๋Š” ์ „๊ธฐ๊ฐ€ ์—†์ด๋Š” ์‚ด๊ธฐ๊ฐ€ ์–ด๋ ค์šด ์„ธ์ƒ์—์„œ ์‚ด๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. TV, ๋ƒ‰์žฅ๊ณ , ํœด๋Œ€ํฐ ๋“ฑ ์ „๊ธฐ, ์ „์ž ๋ถ„์•ผ์—์„œ ์ง€์†์ ์œผ๋กœ ์ „๊ธฐ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ ๋ฐ˜๋„์ฒด์˜ ๋ฐœ์ „์œผ๋กœ ์†Œํ˜•ํ™”๋œ ์ œํ’ˆ๋“ค์ด ๋Š˜์–ด๋‚˜๋ฉด์„œ ์ž‘์€ ์ „์žํŒŒ์—๋„ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฐ›์„ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋ ‡๊ธฐ์— ์™ธ๋ถ€์˜ ์ „๊ธฐ๊ฐ€ ์ œํ’ˆ์— ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์น˜์ง€ ์•Š๊ฒŒ ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด์„œ ์ ‘์ง€๋ฅผ ํ•„์š”๋กœ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. โ–ถ์ ‘์ง€์„  ์ข…๋ฅ˜์ ‘์ง€์„ ์€ ํฌ๊ฒŒ ๋‘๊ฐ€์ง€ ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ์ž‘๋™ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 1. ์ „์••๊ณผ ์ „๋ฅ˜๋ฅผ ์ •ํ•ด์ค€๋‹ค. ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ๊ธฐ๊ณ„๊ฐ€ ๋™์ž‘ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด..
์ž์ฃผ ์“ฐ์ด๋Š” ์ฒ ๊ฐ• ์†Œ์žฌ / ํƒ„์†Œ๊ฐ• SM40C , S40C ์•ˆ๋…•ํ•˜์„ธ์š” ๋ฆฌ๋ฌด๋ฆฌ๋ฌด ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ค๋Š˜์€ ์—ฌ๋Ÿฌ ์‚ฐ์—…์—์„œ ์ž์ฃผ ์“ฐ์ด๋Š” ๋Œ€ํ‘œ์ ์ธ ํƒ„์†Œ๊ฐ•์ธ SM40C or S40C์— ๋Œ€ํ•ด์„œ ์•Œ์•„๋ณด๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. SM40C / S40C ์ฐจ์ด์  SM40C์™€ S40C๋Š” ํ‘œ๊ธฐ์˜ ์ฐจ์ด ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. SM40C - KS(Korea Standard) ํ•œ๊ตญ ํ‘œ์ค€ S40C - JIS(Japanese Indutrial Standards) ์ผ๋ณธ ์‚ฐ์—… ๊ทœ๊ฒฉ ์ฆ‰, ํ‘œ๊ธฐ๋ฒ•์ด ๋‹ค๋ฅผ๋ฟ ๊ฐ™์€ ์†Œ์žฌ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์„ฑ๋ถ„ Chemical composition (% , Max) C(ํƒ„์†Œ) : 0.37~0.43 Si(๊ทœ์†Œ) : 0.15~0.35 Mn(๋ง๊ฐ„) : 0.60~0.90 P(์ธ) : 0.030 S(ํ™ฉ) : 0.035 Cr(ํฌ๋กฌ) : 0.20 Ni(๋‹ˆ์ผˆ) : 0.20 Cu(๊ตฌ๋ฆฌ) : 0.30 ํƒ„์†Œ์˜ ํ•จ์œ ๋Ÿ‰์ด 0.02 ~ 2.1..
์ž์ฃผ ์“ฐ์ด๋Š” ์ฒ ๊ฐ• ์†Œ์žฌ / SS41, STS304, SS400, SUS304, AISI304 ํŠน์ง•๊ณผ ์ฐจ์ด์  ์ •๋ฆฌ ์•ˆ๋…•ํ•˜์„ธ์š”. ์˜ค๋Š˜์€ ๋Œ€ํ‘œ์ ์ธ ์ฒ ๊ฐ•์†Œ์žฌ์ธ SS41, STS304, SS400, SUS304, AISI304์˜ ๋ถ„๋ฅ˜ ๋ฐฉ๋ฒ•์— ๋Œ€ํ•ด์„œ ์•Œ์•„๋ณด๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. โ—† SS, STS, SUS, AISI์˜ ์ฐจ์ด์  "๊ทœ๊ฒฉ์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋ช…์นญ ์ฐจ์ด" - SS(Stainless Steel or Steel Structure): ๊ตญ์ œ ํ‘œ์ค€ ๊ทœ๊ฒฉ - STS(Steel Type Stainless): ํ•œ๊ตญ ํ‘œ์ค€ ๊ทœ๊ฒฉ - SUS(Stainless Use Steel): ์ผ๋ณธ ํ‘œ์ค€ ๊ทœ๊ฒฉ - AISI(American Iron and Steel Institute) ๋ฏธ๊ตญ ์ฒ ๊ฐ• ํ˜‘์˜ํšŒ ๊ทœ๊ฒฉ SS, STS, SUS, AISI๋Š” ๋‚˜๋ผ๋ณ„ ์†Œ์žฌ์— ๋Œ€ํ•œ ํ‘œ์ค€ ๊ทœ๊ฒฉ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๊ธˆ์†์˜ ์ „๋ฐ˜์ ์ธ ๊ทœ๊ฒฉ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๋Š” ํ‘œ์ค€ ๊ทœ๊ฒฉ๋ณด๋‹ค๋Š” ์ž‘์€ ์˜๋ฏธ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ˆ๋ฅผ๋“ค์–ด ํ•œ๊ตญ ํ‘œ์ค€ ์ฒ ๊ฐ• ๊ทœ๊ฒฉ..
๊ณ ์ˆœ๋„์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์žฌ ์ฟผ์ธ  Quartz(์„์˜) / ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์žฌ, ๋ฌผ์„ฑ์น˜ Quartz ์ฟผ์ธ (Quartz)๋ž€? ์ฟผ์ธ (Quartz)์˜ ๋‹ค๋ฅธ ์ด๋ฆ„์€ ์‹ค๋ฆฌ์นด(Glass), ์œ ๋ฆฌ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ํ•œ๊ธ€๋กœ๋Š” ์„์˜(็Ÿณ่‹ฑ)์ด๋ฉฐ, ์ˆ˜์ •์ด๋ผ๊ณ ๋„ ๋ถˆ๋ฆฌ์›๋‹ˆ๋‹ค. ์œก๋ฐฉ์ •๊ณ„์˜ ๊ฒฐ์ •ํ˜•์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ๋ง์ƒํ˜• ์ด์‚ฐํ™”๊ทœ์†Œ(SiO2)(๋ชจ๋ž˜์˜ ์ฃผ์„ฑ๋ถ„)๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ ธ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. (๋ชจ์Šค ๊ฒฝ๋„ 7, ๋น„์ค‘ 2.65) ์ฟผ์ธ (Quartz)์˜ ํŠน์ง• - ๋‚ฎ์€ ๊ฐ€์Šคํ•จ์œ ๋Ÿ‰ / ๋งค์šฐ ๊ณ ์ˆœ๋„(SiO2 99.99%) - ๋‚ฎ์€ ์•Œ์นผ๋ฆฌ์„ฑ๋ถ„ / ๋‚ฎ์€ ์ „๊ธฐ์ „๋„ / ๋ถ€๋„์ฒด - ์ ์€ ๊ด‘ํก์ˆ˜ / ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๋„๊ด‘์„ฑ - ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๋„๊ด‘์„ฑ(๋น›์„ ๋จธ๊ธˆ์Œ) - ๋†’์€ ๋‚ด์—ด์„ฑ(1100ºC) - ๋‚ด์•ฝํ’ˆ์„ฑ - ๋ฐ˜๋„์ฒด์—์„œ๋Š” ์ฃผ๋กœ Dry Etch์™€ Diffusion๊ณต์ •์— ์‚ฌ์šฉ ์ฟผ์ธ (Quartz)ํŒŒํŠธ ์ฃผ์š”์ œํ’ˆ Focus Ring ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ํ˜•์„ฑํ›„ ์ฑ”๋ฒ„๋‚ด์˜ ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ๊ฐ€ ์ •ํ™•ํ•œ ์œ„์น˜๋กœ ๋ชจ์ด๊ฒŒ ํ•˜๋Š” ์—ญํ• ..
์Šˆํผ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋ง ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ PTFE, PVDF, PEEK ์•ˆ๋…•ํ•˜์„ธ์š” ๋ฆฌ๋ฌด์ž…๋‹ˆ๋‹ค. โ€‹ ์˜ค๋Š˜์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์—์„œ ์ž์ฃผ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ์ˆ˜์ง€์ธ PTFE, PVDF, PEEK์— ๋Œ€ํ•ด์„œ ์†Œ๊ฐœํ•˜๋ ค๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ž์ฃผ ์“ฐ์ด๋Š” ์ฒ ๊ฐ• ์†Œ์žฌ / SS41, STS304, SS400, SUS304, AISI304 ํŠน์ง•๊ณผ ์ฐจ์ด์  ์ •๋ฆฌ ์ž์ฃผ ์“ฐ์ด๋Š” ์ฒ ๊ฐ• ์†Œ์žฌ / ํƒ„์†Œ๊ฐ• SM40C , S40C ๊ณ ์ˆœ๋„์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์žฌ ์ฟผ์ธ  Quartz(์„์˜) / ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์žฌ, ๋ฌผ์„ฑ์น˜ ์Šˆํผ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋ง ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ Super Engineering Plastic ๋ฐ˜๋„์ฒด ์„ธ์ • ๊ณต์ •, ํŠนํžˆ ๋ฌผ์„ ์ด์šฉํ•œ ์„ธ์ •์ด ์ฃผ์š”์ธ Wet์žฅ๋น„์—์„œ๋Š” ๊ณ ์˜จ์˜ DI, ๋ถˆ์†Œ, ํ™ฉ์‚ฐ, ์—ผ์‚ฐ ๋“ฑ ๊ฐ•ํ•œ ํ™”์•ฝ์•ฝํ’ˆ์ด ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋ ‡๊ธฐ์— ๊ณต์ •์ด ์ง„ํ–‰๋˜๋Š” process zone์—๋Š” ์ด ๊ฐ™์€ ํ™”์•… ์•ฝํ’ˆ์„ ๊ฒฌ๋”œ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋‚ดํ™”ํ•™์„ฑ์ด ์†Œ์žฌ๊ฐ€ ํ•„์ˆ˜์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. PTFE Pol..

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