๋ณธ๋ฌธ ๋ฐ”๋กœ๊ฐ€๊ธฐ

๋ฐ˜๋„์ฒด์†Œ์žฌ

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๊ณ ์ˆœ๋„์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์žฌ ์ฟผ์ธ  Quartz(์„์˜) / ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์žฌ, ๋ฌผ์„ฑ์น˜ Quartz ์ฟผ์ธ (Quartz)๋ž€? ์ฟผ์ธ (Quartz)์˜ ๋‹ค๋ฅธ ์ด๋ฆ„์€ ์‹ค๋ฆฌ์นด(Glass), ์œ ๋ฆฌ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ํ•œ๊ธ€๋กœ๋Š” ์„์˜(็Ÿณ่‹ฑ)์ด๋ฉฐ, ์ˆ˜์ •์ด๋ผ๊ณ ๋„ ๋ถˆ๋ฆฌ์›๋‹ˆ๋‹ค. ์œก๋ฐฉ์ •๊ณ„์˜ ๊ฒฐ์ •ํ˜•์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ๋ง์ƒํ˜• ์ด์‚ฐํ™”๊ทœ์†Œ(SiO2)(๋ชจ๋ž˜์˜ ์ฃผ์„ฑ๋ถ„)๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ ธ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. (๋ชจ์Šค ๊ฒฝ๋„ 7, ๋น„์ค‘ 2.65) ์ฟผ์ธ (Quartz)์˜ ํŠน์ง• - ๋‚ฎ์€ ๊ฐ€์Šคํ•จ์œ ๋Ÿ‰ / ๋งค์šฐ ๊ณ ์ˆœ๋„(SiO2 99.99%) - ๋‚ฎ์€ ์•Œ์นผ๋ฆฌ์„ฑ๋ถ„ / ๋‚ฎ์€ ์ „๊ธฐ์ „๋„ / ๋ถ€๋„์ฒด - ์ ์€ ๊ด‘ํก์ˆ˜ / ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๋„๊ด‘์„ฑ - ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๋„๊ด‘์„ฑ(๋น›์„ ๋จธ๊ธˆ์Œ) - ๋†’์€ ๋‚ด์—ด์„ฑ(1100ºC) - ๋‚ด์•ฝํ’ˆ์„ฑ - ๋ฐ˜๋„์ฒด์—์„œ๋Š” ์ฃผ๋กœ Dry Etch์™€ Diffusion๊ณต์ •์— ์‚ฌ์šฉ ์ฟผ์ธ (Quartz)ํŒŒํŠธ ์ฃผ์š”์ œํ’ˆ Focus Ring ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ํ˜•์„ฑํ›„ ์ฑ”๋ฒ„๋‚ด์˜ ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ๊ฐ€ ์ •ํ™•ํ•œ ์œ„์น˜๋กœ ๋ชจ์ด๊ฒŒ ํ•˜๋Š” ์—ญํ• ..
์Šˆํผ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋ง ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ PTFE, PVDF, PEEK ์•ˆ๋…•ํ•˜์„ธ์š” ๋ฆฌ๋ฌด์ž…๋‹ˆ๋‹ค. โ€‹ ์˜ค๋Š˜์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์—์„œ ์ž์ฃผ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ์ˆ˜์ง€์ธ PTFE, PVDF, PEEK์— ๋Œ€ํ•ด์„œ ์†Œ๊ฐœํ•˜๋ ค๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ž์ฃผ ์“ฐ์ด๋Š” ์ฒ ๊ฐ• ์†Œ์žฌ / SS41, STS304, SS400, SUS304, AISI304 ํŠน์ง•๊ณผ ์ฐจ์ด์  ์ •๋ฆฌ ์ž์ฃผ ์“ฐ์ด๋Š” ์ฒ ๊ฐ• ์†Œ์žฌ / ํƒ„์†Œ๊ฐ• SM40C , S40C ๊ณ ์ˆœ๋„์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์žฌ ์ฟผ์ธ  Quartz(์„์˜) / ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์žฌ, ๋ฌผ์„ฑ์น˜ ์Šˆํผ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋ง ํ”Œ๋ผ์Šคํ‹ฑ Super Engineering Plastic ๋ฐ˜๋„์ฒด ์„ธ์ • ๊ณต์ •, ํŠนํžˆ ๋ฌผ์„ ์ด์šฉํ•œ ์„ธ์ •์ด ์ฃผ์š”์ธ Wet์žฅ๋น„์—์„œ๋Š” ๊ณ ์˜จ์˜ DI, ๋ถˆ์†Œ, ํ™ฉ์‚ฐ, ์—ผ์‚ฐ ๋“ฑ ๊ฐ•ํ•œ ํ™”์•ฝ์•ฝํ’ˆ์ด ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋ ‡๊ธฐ์— ๊ณต์ •์ด ์ง„ํ–‰๋˜๋Š” process zone์—๋Š” ์ด ๊ฐ™์€ ํ™”์•… ์•ฝํ’ˆ์„ ๊ฒฌ๋”œ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋‚ดํ™”ํ•™์„ฑ์ด ์†Œ์žฌ๊ฐ€ ํ•„์ˆ˜์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. PTFE Pol..
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