고순도의 반도체 소재 쿼츠 Quartz(석영) / 반도체 소재, 물성치

Quartz

석영 사진      출처: 위키백과

 

쿼츠(Quartz)란?

쿼츠(Quartz)의 다른 이름은 실리카(Glass), 유리입니다. 한글로는 석영(石英)이며, 수정이라고도 불리웁니다.

 

육방정계의 결정형을 가지고 망상형 이산화규소(SiO2)(모래의 주성분)로 이루어져 있습니다.

(모스 경도 7, 비중 2.65)

 

 

쿼츠(Quartz)의 특징

- 낮은 가스함유량 / 매우 고순도(SiO2 99.99%)

- 낮은 알칼리성분 / 낮은 전기전도 / 부도체

- 적은 광흡수 / 우수한 도광성

- 우수한 도광성(빛을 머금음)

- 높은 내열성(1100ºC)

- 내약품성

- 반도체에서는 주로 Dry Etch와 Diffusion공정에 사용

쿼츠(Quartz)파트 주요제품

Focus Ring	플라즈마 형성후 챔버내의 플라즈마가 정확한 위치로 모이게 하는 역할과 절연기능 수행. 최근 Si Focus Ring으로 일부 대체되고 있다.
2단 Ring	플라즈마의 압력을 제어하는 역할을 한다.
Belljar	마이크로파를 투과시켜 플리즈마 형성을 제어하는 역활
Boat	열산화막 확산 CVD(Chemical Vapor Deposition)공정에서 사용되며, 웨이퍼를 공정에 이송 하기 위한 용기로서 사용된다.
Tube	산화막 형성 또는 확산 공정에 사용되며 Boat류 제품을 감싸는 형태의 Quartz반응로이다.
Cap	Quartz를 받쳐주는 제품으로 내부의 열손실이 없도록 보온역할을 한다.
Bath	Wafer세정공정과 Etching공정에서 Wafer에 손상을 주지 않으면서 담을 수 있는 사각의 통
기타	Wide Pocket, Shadow Ring, Base Plate, Lifter Pin, Shield Ring...etc.

 

쿼츠(Quartz)의 물성표

Purity(%) 순도	99.99
Bulk Density(g/cm³) 밀도	>2.15
Load0.5Kg HV1=9.807N Vickers Hardness(GPa) 비커스경도	8.6
Bending Strength(MPa) 굽힘강도	70
Compressive Strength(MPa) 압축강도	1100
Poissons Ratio 포아손비	0.17
Thermal Conductivity(W/mK)열전도	1.5
Thermal Expansion(x10-6/°C) 열팽창계수	4.3
Specific Heat([RT]J/kg.K)비열	0.2
Volume Resistivity(Ω. ㎝)체적고유사항	>1014
Dielectric Constant(25°C 1MHz)유전상수	3.75

출처: www.skcsolmics.com/